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| 芯片廠對空氣過濾器的要求 |
| 瀏覽次數(shù)：2027 次 發(fā)布時間：2024-01-29 |
當今，半導體芯片廠對生產環(huán)境空氣潔凈程度最挑剔，對空氣過濾器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。
芯片廠用的高效過濾器和風機過濾單元（FFU）出廠前要經過掃描測試。芯片廠不認鈉焰法和DOP法的帳。
芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發(fā)元素近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料，這種材料沒有揮發(fā)物，但它帶靜電，過濾后的空氣要進行電中和以消除離子，少了個隱患，多了個麻煩。
但當芯片的線寬小到0.5um時，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯廠空調系統(tǒng)中普遍配置了化學過濾器。
芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理和制造工藝并不復雜。
許多情況下，設計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度，因此，芯片廠用的化學過濾器應具有兩個特點：廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。
如果能確定污染物種類，就可對吸附材料進行有針對性的化學處理，以增強對特定污染物的吸附能力。
過濾器供應商有時還要提供相應的現(xiàn)場檢測服務，以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學過濾的專家，并與權威實驗室有密切的關系。
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