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隨著電子技術的不斷發展,潔凈技術在電子制造業得到了方泛的應用。電子制造業的生產環境和電子產品的質量保持著密切的關系,所以人們對電子制造業的潔凈室設計提出了更高的要求。我們只有在充分了解電子制造業的行業特性和相關要求后,才能設計出合理的潔凈廠房。
電子制造業廠萬級潔凈室廠房特點∶
1.潔凈度等級要求高,對靜電要求極其嚴格,芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是電子制造行業潔凈室的重要組成部分;
2.風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控;一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。
3.電子產品潔凈室主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時對溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
A.電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A);
B.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
C.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa;
D.電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
- 補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和
- 保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3
E.電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器,應設置新風超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量,應取下面三項最大值:
- 保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量
- 根據熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量
- 向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量
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